A ASML está avaliando o lançamento de uma versão especial de sua ferramenta de litografia ultravioleta profunda (DUV) que atenderá às mais recentes regras de exportação dos EUA e que poderá ser enviada para clientes chineses sem licença, informa DigiTimes. O dispositivo permitiria que empresas como SMIC e Hua Hong produzissem chips em nós de 28 nm e mais espessos, mas não permitiria que usassem nós mais avançados.
A ferramenta de litografia em questão é a Twinscan NXT:1980Di, e atualmente este é o scanner de imersão menos avançado que a TSMC ainda fabrica. A máquina possui ótica de abertura numérica de 1,35 e é capaz de resolução <38 nm, o que é suficiente para a classe de 7 nm e nós ainda mais avançados. Na verdade, este scanner – lançado originalmente em 2016 – foi usado pela TSMC para desenvolver sua tecnologia de processo de classe 7nm.
Reduzir este dispositivo e aumentar sua resolução mínima suportada para evitar que a SMIC e outros fabricantes de chips chineses criem tecnologia de processo abaixo de 28nm é teoricamente possível. Tendo em mente que a maior parte da receita da SMIC vem de nós de produção com espessura superior a 28 nm, é provável que as empresas chinesas ainda estejam interessadas em adquirir essas ferramentas.
Os últimos regulamentos de exportação exigem que empresas e indivíduos americanos obtenham licenças para exportar ferramentas e tecnologias capazes de fabricar chips lógicos com transistores não planares em nós de 14nm/16nm e abaixo, 3D NAND com 128 camadas ou mais e chips de memória DRAM de 18nm meio -pitch ou menos. As mesmas regras se aplicam a empresas não americanas que exportam componentes dos EUA, como é o caso da ASML e do Twinscan NXT:1980Di.
As últimas regras de exportação holandesas exigem que a ASML obtenha uma licença de exportação para vender seus scanners Twinscan NXT:2000i para empresas chinesas. A ASML não criou oficialmente uma versão limitada do Twinscan NXT, mas se os regulamentos de exportação continuarem a restringir as vendas de tecnologias avançadas para a China, tal movimento parece provável.